TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Thust, M.
A1  - Steffen, A.
A1  - Müller-Veggian, Mattea
T1  - Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
JF  - ITG-Fachbericht. 148 (1998)
Y1  - 1998
SN  - 0341-0196
SP  - 257
EP  - 263
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Steffen, A.
A1  - Sanke, M. S.
A1  - Müller-Veggian, Mattea
T1  - Kapazitiver Silizium-Sensor als Ph-Transducer für Biosensoranwendungen
JF  - 13. Jahrestagung der Biotechnologen : Wiesbaden 30.05. - 01.06.1995 / Deutsche Gesellschaft für Chemisches Apparatewesen, Chemische Technik und Biotechnologie e.V., Frankfurt am Main. - Bd. 1
Y1  - 1995
N1  - Jahrestagung der Biotechnologen <13, 1995, Wiesbaden> ; Deutsche Gesellschaft für Chemisches Apparatewesen, Chemische Technik und Biotechnologie
SP  - 65
EP  - 66
PB  - DECHEMA
CY  - Frankfurt am Main
ER  -