TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. A1 - Ronkel, F. A1 - Schultze, J. W. T1 - Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren JF - ITG-Fachbericht. 148 (1998) Y1 - 1998 SN - 0341-0196 SP - 33 EP - 40 ER -