TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Abel, S.
A1  - Döpper, J.
T1  - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter  / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C.
JF  - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering
Y1  - 1996
SN  - 0277-786X
N1  - Konferenz-Einzelbericht.
SP  - 202
EP  - 210
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Y1  - 1993
SN  - 0931-2714
SP  - LXIX
EP  - LXXI
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Abel, S.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Assembly of Electromagnetic Milliactuators with LIGA Components. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Proceedings 2nd Japan-France Congress on Mechatronics, Takamatsu (Kagawa, Japan) 1.-3. November 1994, 31 (1994)
Y1  - 1995
N1  - 2nd Japan-France Congress on mechatronics (1994 Nov : Takamatsu, Japan)
SP  - 31
EP  - 31
PB  - Fuji Technology Press
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA Components for the Construction of Milliactuators. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schmidt, M.
JF  - 1994 IEEE Symposium on Emerging Technologies & Factory Automation : novel disciplines for the next century ; proceedings, November 6 - 10, 1994, Tokyo, Japan / ETFA '94. Hiroyuki Fujita [chairman] ... Sponsored by: Institute of Industrial Science, SEIKEN
Y1  - 1994
SN  - 0780321146
SP  - 43
EP  - 47
CY  - Piscataway, N.J.
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
T1  - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.
Y1  - 1996
PB  - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996
CY  - Paderborn
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
T1  - Development of micro and millimotors. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulz, C.; Thürigen C.
JF  - Minimally Invasive Therapy and Allied Technologies. 6 (1997)
Y1  - 1997
SN  - 1364-5706
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
T1  - Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091269-3
N1  - VDI-Berichte ; 1269
SP  - 77
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Hagemann, B.
A1  - Lehr, H.
T1  - Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Thürigen, C.; Wittig, T.
JF  - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH
Y1  - 1996
N1  - International Conference on New Actuators <5, 1996, Bremen>
SP  - 429
CY  - Bremen
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Berg, U.
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
JF  - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Y1  - 1996
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Berg, U.
A1  - Wolf, A.
A1  - Lehr, H.
T1  - Entwicklung von Linsenhaltern für ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
JF  - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Y1  - 1996
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Abel, S.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Y1  - 1996
N1  - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
SP  - 158
EP  - 163
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
T1  - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996
Y1  - 1996
SP  - 1
EP  - 13
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.
Y1  - 1995
N1  - University Enterprise Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems
SP  - 100
EP  - 110
PB  - FSRM
CY  - Neuchatel
ER  -