TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Abel, S.
A1  - Döpper, J.
T1  - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter  / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C.
JF  - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering
Y1  - 1996
SN  - 0277-786X
N1  - Konferenz-Einzelbericht.
SP  - 202
EP  - 210
ER  -