TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni T1 - Praxisorientierte Ingenieurausbildung durch multimedial unterstützte Laborkurse. Merten, Sabine ; Kämper, Klaus-Peter ; Brill, Manfred ; Picard, Antoni JF - Online-Pädagogik. Bd. 3 Referenzmodelle und Praxisbeispiele / hrsg. von Burkhard Lehmann ... Y1 - 2005 SN - 3-89676-987-1 PB - Schneider-Verl. Hohengehren CY - Baltmannsweiler ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. T1 - Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept für eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A. JF - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle Y1 - 2005 SN - 3-8007-2926-1 N1 - Mikrosystemtechnik-Kongress <2005, Freiburg, Breisgau> SP - 127 PB - VDE-Verl. CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Können Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbständig fertigen? JF - Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsförderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anläßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007] Y1 - 2007 SN - 978-3-89750-148-5 N1 - Verlinkt ist der ganze Band. SP - 26 EP - 35 PB - AWNET CY - Berlin ER - TY - GEN A1 - Kämper, Klaus-Peter T1 - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1 N2 - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik KW - Mikrosystemtechnik Y1 - 2007 ER -