TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Thust, M.
A1  - Steffen, A.
A1  - Müller-Veggian, Mattea
T1  - Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
JF  - ITG-Fachbericht. 148 (1998)
Y1  - 1998
SN  - 0341-0196
SP  - 257
EP  - 263
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Thust, M.
A1  - Steffen, A.
A1  - Kordos, P.
A1  - Lüth, H.
A1  - Kauffmann, F.
A1  - Hoffmann, B.
T1  - Halbleiter-Biosensoren für den Penicillin-Nachweis in wäßrigen Lösungen
JF  - Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. März 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091255-3
N1  - VDI-Berichte; 1255
SP  - 143
EP  - 148
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  -