TY - JOUR A1 - Vlasov, Y. G. A1 - Mourzina, Y. G. A1 - Legin, A. V. A1 - Ermelenko, Y. E. A1 - Schubert, J. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Lüth, H. T1 - Solid-state thin film sensors based on chalcogenide materials prepared by planar technology and pulsed laser deposition JF - Russian Journal of Applied Chemistry. 75 (2002), H. 3 Y1 - 2002 SN - 1070-4272 SP - 351 EP - 356 ER - TY - JOUR A1 - Simonis, A. A1 - Lüth, H. A1 - Wang, J. A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Miniaturisierte Referenzelektroden in Siliziumtechnologie für elektrochemische Sensoranwendungen JF - Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik Y1 - 2004 SN - 3-18-091829-2 N1 - Auch erschienen als: VDI-Berichte ; 1829 SP - 847 EP - 850 PB - VDI CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Simonis, A. A1 - Lüth, H. A1 - Wang, J. A1 - Schöning, Michael Josef T1 - New concepts of miniaturised reference electrodes in silicon technology for potentiometric sensor systems JF - Sensors and Actuators B. 103 (2004), H. 1-2 Y1 - 2004 SN - 0925-4005 SP - 429 EP - 435 ER - TY - JOUR A1 - Simonis, A. A1 - Lüth, H. A1 - Wang, J. A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Strategies of miniaturised reference electrodes integrated in a silicon-based „one chip“ pH sensor JF - Sensors. 3 (2003), H. 9 Y1 - 2003 SN - 1424-8220 SP - 330 EP - 339 ER - TY - JOUR A1 - Simonis, A. A1 - Krings, T. A1 - Lüth, H. A1 - Wang, J. A1 - Schöning, Michael Josef T1 - A „hybrid“ thin-film pH sensor with integrated thick-film reference JF - Sensors. 1 (2001), H. 6 Y1 - 2001 SN - 1424-8220 SP - 183 EP - 192 ER - TY - JOUR A1 - Schütz, S. A1 - Czynski, J. A1 - Hummel, Hans E. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Schroth, P. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. T1 - Insect meets microelectronics: A BioFET as a first step to bioelectronic microsystems JF - Transducers '99 : proceedings of the Tenth International Conference on Solid-State Sensors and Actuators ; 7 - 10 June, 1999, Sendai, Japan / ed.: S. Middelhoek Y1 - 2000 N1 - International Conference on Solid State Sensors and Actuators <10, 1999, Sendai, Miyagi-ken> ; Transducers '99 ; (10 : ; 1999.06.07-10 : ; Sendai) SP - 1104 EP - 1107 PB - Elsevier CY - Amsterdam [u.a.] ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Yoshinobu, T. A1 - Schubert, J. A1 - Steffen, A. A1 - Lüth, H. T1 - Innovative Schichttechniken und Messprinzipien für kapazitive Feldeffektsensoren JF - Sensoren und Mess-Systeme : Vorträge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. März 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl .... Y1 - 2002 SN - 3-8007-2675-0 N1 - Sensoren und Mess-Systeme 2002 SP - 151 EP - 154 PB - VDE-Verl. CY - Berlin [u.a.] ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Kordos, P. A1 - Schultze, J.W. A1 - Lüth, H. T1 - Capacitive microsensors for biochemical sensing based on porous silicon technology JF - Transducers '99 : proceedings of the Tenth International Conference on Solid-State Sensors and Actuators ; 7 - 10 June, 1999, Sendai, Japan / ed.: S. Middelhoek Y1 - 2000 N1 - International Conference on Solid State Sensors and Actuators <10, 1999, Sendai, Miyagi-ken> ; Transducers '99 ; (10 : ; 1999.06.07-10 : ; Sendai) SP - 1184 EP - 1187 PB - Elsevier CY - Amsterdam [u.a.] ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Thust, M. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. A1 - Ronkel, F. A1 - Schultze, J. W. T1 - Halbleiter-Schichtstrukturen mit porösem Silizium als Chemo- und Biosensoren JF - ITG-Fachbericht. 148 (1998) Y1 - 1998 SN - 0341-0196 SP - 33 EP - 40 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Simonis, A. A1 - Krings, T. A1 - Lüth, H. A1 - Wang, J. T1 - Evaluation of a chip-based thin-film / thick-film sensor hybrid for (bio-)chemical analysis JF - Electroanalysis Y1 - 2002 SN - 1040-0397 VL - 14 IS - 13 SP - 955 EP - 958 ER -