TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed.
Y1  - 1995
N1  - University Enterprise Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems
SP  - 100
EP  - 110
PB  - FSRM
CY  - Neuchatel
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Y1  - 1993
SN  - 0931-2714
SP  - LXIX
EP  - LXXI
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lehr, H.
A1  - Abel, S.
A1  - Döpper, J.
T1  - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter  / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C.
JF  - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering
Y1  - 1996
SN  - 0277-786X
N1  - Konferenz-Einzelbericht.
SP  - 202
EP  - 210
ER  -