TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Die Mikroaktorik wird erwachsen
JF  - INNO : innovative Technik - neue Anwendungen / Hrsg.: IVAM Fachverband für Mikrotechnik, Dortmund. Ausgabe 22 (2002)
Y1  - 2002
SP  - 4
EP  - 5
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
JF  - Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International
Y1  - 1994
N1  - MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart)
CY  - Stuttgart
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Y1  - 1996
N1  - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
SP  - 121
EP  - 126
ER  - 
TY  - GEN
A1  - Kämper, Klaus-Peter
T1  - Skript zur Vorlesung Mikrotechnik 1
N2  - Kennwortgeschützter Zugang nur für Studierende bei Prof. Dr. Klaus-Peter Kämper. Sommersemester 2007. Version 2.3 vom 27.02.2007 I-8, 484 S.: Ill.; graph. Darst. Inhaltsverzeichnis: 1 Einführung: Was ist Mikrotechnik? 2 Fertigung im Reinraum 3 Der Werkstoff Silizium 4 Dünnschichttechnologie 5 Photolithographie 6 Ätztechnologie 7 „Bulk Micromachining“ 8 „Surface Micromachining“ 9 Trockenätzen tiefer Mikrostrukturen 10 LIGA-Technik 11 Mikrofunkenerosion 12 Laser in der Mikrotechnik 13 Mechanische Mikrofertigung 14 Photostruktuierbares Glas 15 Aufbau- und Verbindungstechnik
KW  - Mikrosystemtechnik
Y1  - 2007
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Berg, U.
A1  - Lehr, H.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Experimentelle Untersuchungen zur automatisierten Mikrolinsenmontage. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
JF  - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Y1  - 1996
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Berg, U.
A1  - Wolf, A.
A1  - Lehr, H.
T1  - Entwicklung von Linsenhaltern für ein SMIF-kompatibles Magazinsystem und deren Fertigung durch Mikrospritzguß. Berg, U.; Kämper, K.-P.; Wolf, A.; Lehr, H.; Ehrfeld, W.
JF  - Produktionstechnik für Mikrosysteme. IPA-Seminar, 5. und 6. November 1996, Stuttgart. Pro Mikro. Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart
Y1  - 1996
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Y1  - 1993
SN  - 0931-2714
SP  - LXIX
EP  - LXXI
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
T1  - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M.
Y1  - 1996
PB  - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996
CY  - Paderborn
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Hagemann, B.
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
T1  - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C.
JF  - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996
Y1  - 1996
SP  - 1
EP  - 13
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Lacher, M.
A1  - Abraham, M.
A1  - Ehrfeld, W.
T1  - Mikrosysteme für die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T.
JF  - Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schlüsseltechnologien für das 21. Jahrhundert"
Y1  - 1995
N1  - DGLR-Jahrestagung ; 1995
SP  - 415
EP  - 423
PB  - Deutsche Gesellschaft für Luft- und Raumfahrt
CY  - Lilienthal-Oberth
ER  -