TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Döpper, J. A1 - Hessel, V. T1 - Microfluidic components for biological and chemical microreactors. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Döpper, J.; Hessel, V.; Lehr, H.; Löwe, H.; Richter, T.; Wolf, A. JF - Proceedings : an investigation of micro structures, sensors, actuators, machines and robots ; Nagoya, Japan, January 26 - 30, 1997 / IEEE Robotics and Automation Society ... Y1 - 1997 SN - 0-7803-3744-1 N1 - International Workshop on Micro-Electro-Mechanical Systems <10, 1997, Nagoya> SP - 338 EP - 343 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. T1 - Electromagnetic permanent magnet micromotor with integrated micro gear box. Kämper, K.-P.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Lehr, H.; Michel, F.; Schirling, A.; Thürigen, C.; Wittig, T. JF - Actuator 96 : Conference Proceedings ; 5th International Conference on New Actuators ; 26- 28 June, Bremen, Germany / Ed.: Hubert Borgmann. Publ. by: AXON Technology Consult GmbH Y1 - 1996 N1 - International Conference on New Actuators <5, 1996, Bremen> SP - 429 CY - Bremen ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. A1 - Lacher, M. T1 - Market oriented development and production of microdevices. Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A.; Schmidt, M.; Schulz, C. JF - Proceedings : 21th International Conference on Microelectronics : MIEL '97 ; Niš, Yugoslavia, 14-17 September 1997. Vol. 1 Y1 - 1997 SN - 0-7803-3664-X SP - 71 EP - 79 PB - IEEE Service Center CY - Piscataway, NJ ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. A1 - Michel, F. T1 - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5 Y1 - 1993 SN - 0931-2714 SP - LXIX EP - LXXI ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M. Y1 - 1996 PB - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996 CY - Paderborn ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996 Y1 - 1996 SP - 1 EP - 13 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. A1 - Michel, F. T1 - LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed. Y1 - 1995 N1 - University Enterprise Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems SP - 100 EP - 110 PB - FSRM CY - Neuchatel ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Kurzawa, R. A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Spin-resolved photoemission study of in situ grown epitaxial Fe layers on W(110). Kurzawa, R.; Kämper, K.-P.; Schmitt, W.; Güntherodt, G. JF - Solid State Communications. 60 (1986), H. 10 Y1 - 1986 SN - 0038-1098 SP - 777 EP - 780 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lacher, M. A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Mikrosysteme für die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T. JF - Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schlüsseltechnologien für das 21. Jahrhundert" Y1 - 1995 N1 - DGLR-Jahrestagung ; 1995 SP - 415 EP - 423 PB - Deutsche Gesellschaft für Luft- und Raumfahrt CY - Lilienthal-Oberth ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Döpper, J. T1 - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C. JF - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering Y1 - 1996 SN - 0277-786X N1 - Konferenz-Einzelbericht. SP - 202 EP - 210 ER -