TY  - JOUR
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Ehrfeld, W.
A1  - Lehr, H.
A1  - Michel, F.
T1  - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
JF  - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Y1  - 1993
SN  - 0931-2714
SP  - LXIX
EP  - LXXI
ER  -