TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996 Y1 - 1996 SP - 1 EP - 13 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hessel, V. T1 - Microsystem technology: Between research and industrial application. Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hessel, V.; Kämper, K.-P.; Lacher, M.; Picard, A. JF - Microelectronic Engineering. 41-42 (1998) Y1 - 1998 SN - 0167-9317 N1 - International Conference on Micro- and Nanofarbication SP - 47 EP - 52 ER -