TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Merten, Sabine A1 - Rollwa, Markus T1 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies N2 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Mikrosystemtechnik KW - MST KW - virtual clean room Y1 - 2003 ER - TY - JOUR A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine T1 - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung N2 - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt. KW - Mikrosystemtechnik KW - Photolithographie KW - Mikrotechnik KW - mikrotechnische Komponenten KW - Oxidationsofen KW - Oxidschicht KW - multimediale Lernsoftware KW - micro technology KW - micro-technical components KW - oxidation furnace KW - oxide coating Y1 - 2002 ER - TY - JOUR A1 - Wettingfeld, Jürgen A1 - Kern, Alexander A1 - Krämer, Heinz-Josef A1 - Thormählen, Reyno T1 - International anerkannte Blitzschutznormen : Ausgewogener und sicherer Schutz N2 - Die Einleitung zur Norm DIN EN 62305-3 beschreibt klar und ein - deutig: Der vorliegende Teil der IEC 62305 behandelt den Schutz von baulichen Anlagen gegen materielle Schäden und den Schutz von Personen gegen Verletzungen durch Berührungs- und Schrittspannungen. Als das wesentlichste und effektivste Mittel zum Schutz von baulichen Anlagen gegen materielle Schäden gilt das Blitz - schutzsystem (LPS). KW - Blitzschutz KW - lightning protection Y1 - 2009 PB - Fachhochschule Aachen CY - Aachen ER - TY - JOUR A1 - Zhubanova, Azhar A. A1 - Digel, Ilya A1 - Nojima, H. A1 - Artmann, Gerhard T1 - The use of bactericidal effects of cluster ions generated by plasma in medical biotechnology N2 - The most of conventional methods of air purification use the power of a fan to draw in air and pass it through a filter. The problem of bacterial contamination of inner parts of such a type of air conditioners in some cases draws attention towards alternative air-cleaning systems. Some manufacturers offer to use the ozone's bactericidal and deodorizing effects, but the wide spreading of such systems is restricted by the fact that toxic effects of ozone in respect of human beings are well known. In 2000 Sharp Inc. introduced "Plasma Cluster Ions (PCI)" air purification technology, which uses plasma discharge to generate cluster ions (I 0-14 ). This technology has been developed for those customers that are conscious about health and hygiene. In our experiments, we focused on some principal aspects of plasma-generated ions application - time-dependency and irreversibility of bactericidal action, spatial and kinetic characteristics of emitted cluster particles, their chemical targets in the microbial cells. KW - Clusterion KW - Raumluft KW - Luftreiniger KW - Plasmacluster ion technology KW - Air purification Y1 - 2007 ER -