TY  - JOUR
A1  - Förster, Arnold
T1  - Layer Deposition I
JF  - Fundamentals of nanoelectronics / Stefan Blügel ... (ed.). - (Lecture manuscripts of the ... Spring School of the Department of Solid State Research ; 34). - (Schriften des Forschungszentrums Jülich : Materie und Material ; 14 ; 34)
Y1  - 2003
SN  - 3-89336-319-X
SP  - C2.1
EP  - C2.13
PB  - Forschungszentrum, Zentralbibliothek
CY  - Jülich
ER  -