TY  - JOUR
A1  - Naujokat, Anke
T1  - Aachen: Colourdome
JF  - Bauwelt. 93 (2002), H. 37
Y1  - 2002
SN  - 0931-6590
SP  - 2
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Pfeiffer, Johann
T1  - Gute Chancen im Maschinenbau
JF  - Aachener Nachrichten / Aachener Zeitung : Sonderbeil. (2002)
Y1  - 2002
PB  - -
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Pfeiffer, Johann
T1  - Gute Chancen im Maschinenbau
JF  - Rheinische Post : Sonderbeil. (2002)
Y1  - 2002
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Pfeiffer, Johann
T1  - Chancen im Maschinenbau
JF  - Fachblatt :  Journal der Fachhochschule Aachen . 2002 (2002), H. 1
Y1  - 2002
SP  - 2
PB  - -
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Picard, Antoni
A1  - Brill, Manfred
A1  - Cassel, Detlev
A1  - Jentsch, Andreas
A1  - Rollwa, Markus
A1  - Kämper, Klaus-Peter
A1  - Merten, Sabine
T1  - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung
N2  - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.
KW  - Mikrosystemtechnik
KW  - Photolithographie
KW  - Mikrotechnik
KW  - mikrotechnische Komponenten
KW  - Oxidationsofen
KW  - Oxidschicht
KW  - multimediale Lernsoftware
KW  - micro technology
KW  - micro-technical components
KW  - oxidation furnace
KW  - oxide coating
Y1  - 2002
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Berndsen, L.
A1  - Lüth, H.
A1  - Schultze, J. W.
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Multi-Parameter-Detektions-System unter dem Einsatz eines einzigen Transducerprinzips sowohl für (bio-)chemische als auch physikalische Sensoren
JF  - Sensoren und Mess-Systeme : Vorträge der 11. ITG/GMA-Fachtagung vom 11. bis 12. März 2002 in Ludwigsburg / Veranst.: Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG) ... Wiss. Tagungsleitung: C. D. Kohl ....
Y1  - 2002
SN  - 3-8007-2675-0
N1  - Sensoren und Mess-Systeme 2002
SP  - 137
EP  - 140
PB  - VDE-Verl.
CY  - Berlin [u.a.]
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Berndsen, L.
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Chemical sensor as a physical sensor: ISFET-based flowvelocity, flow-direction and diffusion-coefficient sensor
JF  - Book of abstracts / ed. by J. Saneistr.
Y1  - 2002
SN  - 80-01-02576-4
N1  - Eurosensors ; (16, 2002, Praha)
SP  - 649
EP  - 652
PB  - Czech Technical University, Faculty of Electrical Engineering, Department of Measurement
CY  - Prague
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Prume, Klaus
A1  - Franken, Klaus
A1  - Böttger, Ulrich
A1  - Waser, Rainer
T1  - Modelling and numerical simulation of the electrical, mechanical, and thermal coupled behaviour of Multilayer capacitors (MLCs) / Prume, Klaus ; Franken, Klaus ; Böttger, Ulrich ; Waser, Rainer ; Maier, Horst R.
JF  - Journal of the European Ceramic Society. 22 (2002), H. 8
Y1  - 2002
SN  - 0955-2219
SP  - 1285
EP  - 1296
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Prume, Klaus
A1  - Roelofs, Andreas
A1  - Schmitz, Thorsten
A1  - Reichenberg, Bernd
T1  - Compensation of the Parasitic Capacitance of a Scanning Force Microscope Cantilever Used for Measurements on Ferroelectric Capacitors of Submicron Size by Means of Finite Element Simulations / Prume, Klaus ; Roelofs, Andreas ; Schmitz, Thorsten ; Reichenb
JF  - Japanese Journal of Applied Physics. 41 (2002), H. 11B
Y1  - 2002
SN  - 0021-4922
SP  - 7198
EP  - 7201
ER  - 
TY  - BOOK
A1  - Rath, Walter
A1  - Koch, Markus
A1  - Reichardt, Rüdiger
T1  - Composition de polyurethanne et joint d’etancheite pour vitrage = Polyurethanzusammensetzung und Verglasungsdichtungs-Profil / Rath, Walter, Koch, Markus ; Reichardt, Rüdiger [Erfinder]
Y1  - 2002
N1  - EP0789719 24.01.2002 Veröffentlichungstag im Patentblatt  ; Volltext recherchierbar über
PB  - Europäisches Patentamt
CY  - München
ER  -