TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Entwicklung von Mikroantrieben am Institut für Mikrotechnik Mainz. Lehr, H.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM Y1 - 1996 SN - 3-18-091269-3 N1 - VDI-Berichte ; 1269 SP - 77 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Assembly of Electromagnetic Milliactuators with LIGA Components. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Proceedings 2nd Japan-France Congress on Mechatronics, Takamatsu (Kagawa, Japan) 1.-3. November 1994, 31 (1994) Y1 - 1995 N1 - 2nd Japan-France Congress on mechatronics (1994 Nov : Takamatsu, Japan) SP - 31 EP - 31 PB - Fuji Technology Press ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Entwicklung von elektromagnetischen Mikroaktoren. Lehr, H.; Abel, S.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 Y1 - 1996 N1 - Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 SP - 158 EP - 163 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lehr, H. A1 - Abel, S. A1 - Döpper, J. T1 - Microactuators as driving units for microrobotic systems. Herstellung von Mikroaktoren mit dem LIGA-Verfahren für Mikroroboter / Lehr, H.; Abel, S.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Michel, F.; Schulu, c.; Thürigen, C. JF - Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering Y1 - 1996 SN - 0277-786X N1 - Konferenz-Einzelbericht. SP - 202 EP - 210 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Lacher, M. A1 - Abraham, M. A1 - Ehrfeld, W. T1 - Mikrosysteme für die Luft- und Raumfahrt. Lacher, M.; Abraham, M.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Picard, A.; Zetterer, T. JF - Deutscher Luft- und Raumfahrtkongreß 1995/1 (1995). Bonn, 26. - 29. September 1995 Motto: "Luft- und Raumfahrt - Schlüsseltechnologien für das 21. Jahrhundert" Y1 - 1995 N1 - DGLR-Jahrestagung ; 1995 SP - 415 EP - 423 PB - Deutsche Gesellschaft für Luft- und Raumfahrt CY - Lilienthal-Oberth ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Kurzawa, R. A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Spin-resolved photoemission study of in situ grown epitaxial Fe layers on W(110). Kurzawa, R.; Kämper, K.-P.; Schmitt, W.; Güntherodt, G. JF - Solid State Communications. 60 (1986), H. 10 Y1 - 1986 SN - 0038-1098 SP - 777 EP - 780 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Lehr, H. A1 - Michel, F. T1 - LIGA Example 2: Electromagnetic Micromotor. Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - LIGA technique / Hans-Dieter Bauer (ed.). [Developed by UETP-MEMS, University Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems ...]. - 2.ed. Y1 - 1995 N1 - University Enterprise Training Partnership for Micro-Electro-Mechanical Systems SP - 100 EP - 110 PB - FSRM CY - Neuchatel ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Einsatz der Finite-Elemente-Methode für die Entwicklung von Permanentmagnet-Mikromotoren. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Tagungsband : 3. Workshop Methoden- und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für Applikationsspezifische Integrierte Mikrosysteme : 27. und 28. Juni 1996, VDE-Haus Frankfurt a. M. Y1 - 1996 PB - C-LAB/Analoge Systemtechnik, 1996 CY - Paderborn ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Hagemann, B. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. T1 - Berechnung und Optimierung von Permanentmagnet-Mikromotoren mit Hilfe der Finite-Elemente-Methode. Hagemann, B.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.; Thürigen, C. JF - Simulation mit der Finite-Elemente-Methode in Feinwerk- und Mikrotechnik, München, 12. März. 1996 Y1 - 1996 SP - 1 EP - 13 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Ehrfeld, W. A1 - Lehr, H. A1 - Michel, F. T1 - LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5 Y1 - 1993 SN - 0931-2714 SP - LXIX EP - LXXI ER -