TY  - JOUR
A1  - Förster, Arnold
A1  - Cambel, V.
A1  - Kicin, S.
A1  - Kuliffayová, M.
T1  - Preparation of patterned GaAs structures for MEMS and MOEMS. Cambel, V.; Kicin, S.; Kuliffayová, M.; Kovácová, E.; Novák, J.; Kostic, I.; Förster, A.
JF  - Materials Science and Engineering: C. 19 (2002), H. 2
Y1  - 2002
SN  - 0928-4931
SP  - 161
EP  - 165
ER  -