TY  - JOUR
A1  - Poghossian, Arshak
A1  - Wagner, Holger
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Automatisiertes „wafer level“-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren
JF  - Tagungsband: Sensoren und Messsysteme 2010
N2  - Es wurde ein automatisiertes, computerunterstütztes Testsystem für die Funktionsprüfung und Charakterisierung von (bio-)chemischen Sensoren auf Waferebene entwickelt und in einen konventionellen Spitzenmessplatz integriert. Das System ermöglicht die Charakterisierung und Identifizierung „funktionstauglicher“ Sensoren bereits auf Waferebene zwischen den einzelnen Herstellungsschritten, wodurch weitere, bisher übliche Verarbeitungsschritte wie das Fixieren, Bonden und Verkapseln für die defekten oder nicht funktionstauglichen Sensorstrukturen entfällt. Außerdem bietet eine speziell entworfene miniaturisierte Durchflussmesszelle die Möglichkeit, bereits auf Waferlevel die Sensitivität, Drift, Hysterese und Ansprechzeit der (bio-)chemischen Sensoren zu charakterisieren. Das System wurde exemplarisch mit kapazitiven, pH-sensitiven EIS- (Elektrolyt-Isolator-Silizium) Strukturen und ISFET- (ionensensitiver Feldeffekttransistor) Strukturen mit verschiedenen Geometrien und Gate-Layouts getestet.
Y1  - 2010
SN  - 978-3-8007-3260-9
N1  - Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung, 18.05.2010 - 19.05.2010 in Nürnberg
SP  - 89
EP  - 92
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Kirchner, Patrick
A1  - Spelthahn, Heiko
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Henkel, Hartmut
A1  - Schneider, Andreas
A1  - Friedrich, Peter
A1  - Kolstad, Jens
A1  - Berger, Jörg
T1  - Realisierung eines Polyimid-basierten kalorimetrischen Gassensors zur Inline-Überwachung der H2O2-Konzentration in aseptischen Abfüllsystemen
JF  - Tagungsband: Sensoren und Messsysteme 2010
N2  - In aseptischen Abfüllsystemen wird Wasserstoffperoxid in der Gasphase aufgrund der stark oxidativen Wirkung zur Packstoffentkeimung eingesetzt. Dabei wird die Effizienz der Entkeimung im Wesentlichen von der vorliegenden H2O2-Konzentration im Packstoff bestimmt. Zur Inline-Überwachung der H2O2-Konzentration wurde ein kalorimetrischer Gassensor auf Basis einer flexiblen Polyimidfolie aus temperatursensitiven Dünnschicht-Widerständen und Mangan(IV)-oxid als katalytische Transducerschicht realisiert. Der Sensor weist ein lineares Ansprechverhalten mit einer Sensitivität von 7,15 °C/Vol.-% in einem H2O2-Konzentrationsbereich von 0 bis 8 Vol.-% auf. Weiterhin wurde zur Auslesung des Sensorsignals eine RFID-Elektronik, bestehend aus einem Sensor-Tag und einer Sende-/Empfangseinheit ausgelegt, sowie eine Abfolge des Messzyklus aufgestellt. Im weiteren Verlauf soll der kalorimetrische Gassensor mit der RFID-Elektronik gekoppelt und in eine Testverpackung zur Inline-Überwachung der H2O2-Konzentration in aseptischen Abfüllsystemen implementiert werden.
Y1  - 2010
SN  - 978-3-8007-3260-9
N1  - Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung, 18.05.2010 - 19.05.2010 in Nürnberg
SP  - 607
EP  - 612
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  - 
TY  - JOUR
A1  - Werner, Frederik
A1  - Spelthahn, Heiko
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Krumbe, Christoph
A1  - Wagner, Torsten
A1  - Yoshinobu, Tatsuo
A1  - Keusgen, Michael
T1  - Neue Ansteuerungselektronik für LAPS-basierte Biosensoren zur gleichzeitig ortsaufgelösten Messung der pH-Konzentration
JF  - Tagungsband: Sensoren und Messsysteme 2010
N2  - Ein lichtadressierbarer potentiometrischer Sensor (LAPS) kann die Konzentration eines oder mehrerer Analyten ortsaufgelöst auf der Sensoroberfläche nachweisen. Dazu wird mit einer modulierten Lichtquelle die Halbleiterstruktur des zu untersuchenden Bereiches angeregt und ein entsprechender Photostrom ausgelesen. Durch gleichzeitige Anregung mehrere Bereiche durch Lichtquellen mit unterschiedlichen Modulationsfrequenzen können diese auch zeitgleich ausgelesen werden. Mit der neuen, hier vorgestellten Ansteuerungselektronik integriert in einem "Field Programmable Gate Array" (FPGA) ist es möglich, mehrere Leuchtquellen gleichzeitig mit unterschiedlichen, während der Laufzeit festlegbaren Frequenzen, Phasen und Lichtintensitäten zu betreiben. Somit kann das Frequenzverhalten des Sensors untersucht und die Konzentration des Analyten über das Oberflächenpotential mit Hilfe von Strom/Spannungs-Kurven und Phase/Spannungs-Kurven bestimmt werden.
Y1  - 2010
SN  - 978-3-8007-3260-9
N1  - Sensoren und Messsysteme 2010 - 15. ITG/GMA-Fachtagung, 18.05.2010 - 19.05.2010 in Nürnberg
SP  - 109
EP  - 114
PB  - VDE Verlag
CY  - Berlin
ER  -