TY - JOUR A1 - Faßbender, F. A1 - Schmitt, G. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Lüth, H. A1 - Buß, G. A1 - Schultze, J. W. T1 - Optimization of passivation layers for corrosion protection of silicon-based microelectrode arrays JF - Sensors and Actuators B. 68 (2000), H. 1-3 Y1 - 2000 SN - 0925-4005 SP - 128 EP - 133 ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Buß, G. A1 - Faßbender, F. A1 - Glück, O. A1 - Schmitt, G. A1 - Schultze, J. W. A1 - Lüth, H. T1 - A silicon-based microelectrode array for chemical analysis JF - Sensors and Actuators B. 65 (2000), H. 1-3 Y1 - 2000 SN - 0925-4005 SP - 284 EP - 287 ER - TY - JOUR A1 - Schmitt, G. A1 - Faßbender, F. A1 - Lüth, H. A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Schultze, J. W. A1 - Buß, G. T1 - Passivation and corrosion of microelectrode arrays JF - Materials and Corrosion. 51 (2000), H. 1 Y1 - 2000 SN - 0947-5117 SP - 20 EP - 25 ER -