TY - JOUR A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Merten, Sabine T1 - Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung N2 - Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt. KW - Mikrosystemtechnik KW - Photolithographie KW - Mikrotechnik KW - mikrotechnische Komponenten KW - Oxidationsofen KW - Oxidschicht KW - multimediale Lernsoftware KW - micro technology KW - micro-technical components KW - oxidation furnace KW - oxide coating Y1 - 2002 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Virtuelle Sensor-Fertigung: Hightech mit LabVIEW N2 - Eine neue Generation von Praktika an Hochschulen wächst heran. Moderne Wege beim Verstehen und Erlernen naturwissenschaftlicher Zusammenhänge sowie industrieller Fertigungsprozesse sind gefordert. Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor- Fertigung“, entwickelt im Verbundprojekt INGMEDIA an den Fachhochschulen Aachen und Zweibrücken, trägt als neuartiges Lern- und Lehrmodul dieser Forderung Rechnung. Die Studierenden lernen einen vollständigen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen, in LabVIEW programmierten Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Reinraum durchführen. N2 - A new generation of university laboratory courses is presently being developed. Modern concepts for the understanding and learning of applied science and industrial fabrication processes are required. The technology course “Fabrication of a microsensor”, developed by the Universities of Applied Sciences Aachen and Zweibrücken in the joint research project INGMEDIA, represents a new approach towards education in high technology production. The students learn the operation of the complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines, programmed in LabVIEW, before they perform the actual process in a genuine clean room. KW - LabVIEW KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - Fertigungsprozess KW - virtuelle Maschinen KW - virtual sensor fabrication KW - manufacturing process KW - virtual KW - virtual machines Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Brill, Manfred A1 - Picard, Antoni A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Rollwa, Markus T1 - Vom virtuellen Wafer zum realen Drucksensor N2 - Das Technologiepraktikum „Virtuelle Sensor-Fertigung“ ist ein Beispiel für die medientechnische Aufbereitung von Lern- und Lehrmaterial unter didaktischen Gesichtspunkten. Studierende lernen einen Fertigungsprozess mit Hilfe von virtuellen Maschinen kennen, bevor sie die reale Prozesskette im Laborpraktikum im Reinraum durchführen. N2 - The technology course “Fabrication of a microsensor” represents a multimediabased approach towards education in high technology production in consideration of didactical aspects. The students learn the operation of a complex microfabrication line with the help of virtual fabrication machines before they perform the actual process in a hands-on training in an actual clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Virtuelle Sensor-Fertigung KW - virtual fabrication of a microsensor Y1 - 2003 ER - TY - CHAP A1 - Merten, Sabine A1 - Conrad, Thorsten A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Virtual Technology Labs - an efficient tool for the preparation of hands-on-MEMS-courses in training foundries N2 - Hands-on-training in high technology areas is usually limited due to the high cost for lab infrastructure and equipment. One specific example is the field of MEMS, where investment and upkeep of clean rooms with microtechnology equipment is either financed by production or R&D projects greatly reducing the availability for education purposes. For efficient hands-on-courses a MEMS training foundry, currently used jointly by six higher education institutions, was established at FH Kaiserslautern. In a typical one week course, students manufacture a micromachined pressure sensor including all lithography, thin film and packaging steps. This compact and yet complete program is only possible because participants learn to use the different complex machines in advance via a Virtual Training Lab (VTL). In this paper we present the concept of the MEMS training foundry and the VTL preparation together with results from a scientific evaluation of the VTL over the last three years. KW - Virtuelles Laboratorium KW - Virtuelles Labor KW - Hand-on-training KW - Virtual Technology Lab KW - MEMS ; education and training foundry Y1 - 2006 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Thürigen, C. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Hagemann, B. T1 - Gesichtspunkte beim Miniaturisieren von Umlaufrädergetrieben. Thürigen, C.; Ehrfeld, W. ; Hagemann, B.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F. JF - Innovative Kleinantriebe : Tagung Mainz, 9. und 10. Mai 1996 / VDE-VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, GMM Y1 - 1996 SN - 3-18-091269-3 N1 - VDI-Berichte ; 1269 SP - 235 PB - VDI-Verl. CY - Düsseldorf ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schulz, C. A1 - Ehrfeld, W. A1 - Erbel, R. T1 - LIGA Fabricated Microsystems for Medical and Related Applications. Schulz, C.; Ehrfeld, W.; Erbel, R.; Kämper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T. JF - 3-Day Course on Microengineering in Medicine and Biology and its Applications to Minimally Invasive Techniques for Therapy and Medical Diagnosis : EURO-BME 94; October 5, 6, and 7, 1994, Swiss Federal Institute of Technology, EPFL, Lausanne, Switzerland / [the 1994 EURO-BME Microengineering in Medicine and Biology Training Course. Staff: Christian D. Depeursinge ...] Y1 - 1994 N1 - Microengineering in Medicine and Biology Training Course 1994, Lausanne PB - REPRO EPFL CY - Lausanne ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schulz, C. A1 - Arnold, J. A1 - Detter, H. T1 - Anwendungen der LIGA-Technik für medizinische Diagnose- und Therapiesysteme. Schulz, C.; Arnold, J.; Detter, H.; Döpper, J.; Ehrfeld, W., Erbel, R.; Kämper, K.-P.; Koch, L.; Lehr, H.; Roth, T. JF - Elektrotechnik und Informationstechnik. 112 (1995), H. 9 Y1 - 1995 SN - 0932-383X SP - 493 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Wesner, D. A. A1 - Güntherodt, G. T1 - Thickness dependence of the spin- and angle-resolved photoemission of ultrathin, epitaxial Ni(111)/W(110) layers JF - Applied Physics A: Materials Science and Processing. 49 (1989), H. 6 Y1 - 1989 SN - 1432-0630 SP - 573 EP - 578 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. A1 - Gambino, R. J. T1 - CrO2—A New Half-Metallic Ferromagnet? Kämper, K.-P.; Schmitt, W.; Güntherodt, G.; Gambino, R. J., Ruf, R. JF - Physical Review Letters. 59 (1987), H. 24 Y1 - 1987 SN - 1079-7114 SP - 2788 EP - 2791 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - The influence of adsorbates on the spin-resolved photoemission of Ni(110). Schmitt, W.; Kämper, K.-P.; Güntherodt, G. JF - Surface Science. 189/190 (1987) Y1 - 1987 SN - 0039-6028 N1 - Proceedings of the Ninth European Conference on Surface Science SP - 741 EP - 507 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Effect of adsorbates on the spin-polarized photoemission of itinerant ferromagnets. Schmitt, W.; Kämper, K.-P.; Güntherodt, G. JF - Physical Review B. 36 (1987), H. 7 Y1 - 1987 SN - 1095-3795 SP - 3763 EP - 3768 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Thickness dependence of the electronic structure of ultrathin, epitaxial Ni(111)/W(110) layers. JF - Physical Review B. 38 (1988), H. 14 Y1 - 1988 SN - 1095-3795 SP - 9451 EP - 9456 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Temperature and wave-vector dependence of the spin-split band structure of Ni(111) along the Γ-L line JF - Physical Review B. 42 (1990), H. 16 Y1 - 1990 SN - 1095-3795 SP - 10696 EP - 10705 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Schmitt, W. A1 - Güntherodt, G. T1 - Temperature dependence of the exchange splitting of Ni along the -L line JF - Journal de physique. 49 (1988), H. 12. Supplement, Colloque C8 Y1 - 1988 N1 - Proceedings of the International conference on Magnetism. Part 1. ICM 88, Paris, France, Juli 25-29, 1988 SP - 39 EP - 40 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Schütze, Andreas T1 - Können Studierende einen piezoresistiven Drucksensor in einer Woche selbständig fertigen? JF - Interesse wecken, Motivation steigern, Praxisorientiert ausbilden : Nachwuchsförderung und innovative Ausbildung in Sensorik und Mikrosystemtechnik : [anläßlich der Sondersession auf der Sensor+Test 2007] Y1 - 2007 SN - 978-3-89750-148-5 N1 - Verlinkt ist der ganze Band. SP - 26 EP - 35 PB - AWNET CY - Berlin ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlev A1 - Jentsch, Andreas A1 - Merten, Sabine A1 - Rollwa, Markus T1 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies N2 - The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room. KW - Virtuelle Maschine KW - VM KW - Mikrosystemtechnik KW - MST KW - virtual clean room Y1 - 2003 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - The Virtual Cleanroom – a new tool in teaching MST process technologies JF - mst news International newsletter on micro - nano Integration (2003) Y1 - 2003 SN - 0948-3128 SP - 35 EP - 36 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, Antoni A1 - Brill, Manfred A1 - Cassel, Detlef (u.a.) T1 - Neue Medien für die praktische MST Ausbildung JF - Rundschau, FH Kaiserslautern,. Ausgabe Ju (2002) Y1 - 2002 SP - 14 EP - 15 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. A1 - Wallach, D. T1 - Adopting the Foundry Concept of Semiconductor Fabrication on Educational Schemes and the Virtual Technology Lab (VTL). Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A.; Wallach, D.; Walter, T. JF - Mst-News (2006) Y1 - 2006 SN - 0948-3128 SP - 15, 16 EP - u. 35 ER - TY - JOUR A1 - Kämper, Klaus-Peter A1 - Picard, A. A1 - Schütze, A. T1 - Die Ausbildungsfoundry pro-mst und das virtuelle Technologielabor: Ein Konzept für eine exzellente praktische MST-Ausbildung in einem modernen Reinraum zu niedrigen Gesamtkosten. Picard, A.; Kämper, K.-P.; Schütze, A. JF - Mikrosystemtechnik-Kongress 2005 : 10. bis 12. Oktober 2005 in Freiburg ; gemeinsame Veranstaltung von: Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) ... / organisiert von: GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik ... Chairman: Roland Zengerle Y1 - 2005 SN - 3-8007-2926-1 N1 - Mikrosystemtechnik-Kongress <2005, Freiburg, Breisgau> SP - 127 PB - VDE-Verl. CY - Berlin ER -