TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Prämassing, T. A1 - Beckers, L. A1 - Zander, W. T1 - Ein langzeitstabiler pH-Sensor auf Siliziumbasis hergestellt in Dünnschichttechnik mittels Laserablation JF - Chemie- und Biosensoren : aktuelle Anwendungen und Entwicklungstrends / 3. Dresdner Sensor-Symposium, 8. - 10. Dezember 1997, Dresden-Radebeul. J. P. Baselt ... (Hg.) Y1 - 1998 SN - 3-933168-03-1 N1 - Serie Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 5 SP - 99 EP - 102 PB - Dresden Univ. Press CY - Dresden ; München ER - TY - JOUR A1 - Schöning, Michael Josef A1 - Schaub, A. A1 - Zundel, A. A1 - Beckers, L. A1 - Schubert, J. A1 - Zander, W. A1 - Kordos, P. A1 - Lüth, H. T1 - Pulsed laser deposition as a novel thin film preparation method for silicon-based field effect sensors JF - Proceedings of the 25th European Solid State Device Research Conference : the Netherlands Congress Centre, The Hague, the Netherlands, 25th - 27th September 1995 / ESSDERC '95. Ed. by H. C. de Graaff Y1 - 1995 SN - 2-86332-182-X N1 - ESSDERC ; (25, 1995, 's-Gravenhage) ; European Solid State Device Research Conference (ESSDERC) ; (25 : ; 1995.09.25-27 : ; Den Haag) SP - 601 EP - 604 PB - Ed. Frontières CY - Gif-sur-Yvette ER -