TY  - JOUR
A1  - Schöning, Michael Josef
A1  - Schaub, A.
A1  - Beckers, L.
A1  - Zander, W.
T1  - Dünne Al2O3-Schichten für pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation
JF  - Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. März 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik.
Y1  - 1996
SN  - 3-18-091255-3
N1  - VDI-Berichte; 1255
SP  - 381
EP  - 386
PB  - VDI-Verl.
CY  - Düsseldorf
ER  -