TY  - JOUR
A1  - Simonis, A.
A1  - Lüth, H.
A1  - Wang, J.
A1  - Schöning, Michael Josef
T1  - Miniaturisierte Referenzelektroden in Siliziumtechnologie für elektrochemische Sensoranwendungen
JF  - Sensoren und Messsysteme 2004 : Tagung Ludwigsburg, 15. und 16. März 2004 / VDI-VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Y1  - 2004
SN  - 3-18-091829-2
N1  - Auch erschienen als: VDI-Berichte ; 1829
SP  - 847
EP  - 850
PB  - VDI
CY  - Düsseldorf
ER  -