TY - JOUR A1 - Maurischat, Andreas T1 - Algebraic independence of the Carlitz period and its hyperderivatives JF - Journal of Number Theory KW - Drinfeld modules KW - Periods KW - t-modules KW - Transcendence KW - Higher derivations Y1 - 2022 U6 - http://dx.doi.org/10.1016/j.jnt.2022.01.006 SN - 0022-314X VL - 240 SP - 145 EP - 162 PB - Elsevier CY - Orlando, Fla. ER - TY - JOUR A1 - Molinnus, Denise A1 - Janus, Kevin Alexander A1 - Fang, Anyelina C. A1 - Drinic, Aleksander A1 - Achtsnicht, Stefan A1 - Köpf, Marius A1 - Keusgen, Michael A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Thick-film carbon electrode deposited onto a biodegradable fibroin substrate for biosensing applications JF - Physica status solidi (a) N2 - This study addresses a proof-of-concept experiment with a biocompatible screen-printed carbon electrode deposited onto a biocompatible and biodegradable substrate, which is made of fibroin, a protein derived from silk of the Bombyx mori silkworm. To demonstrate the sensor performance, the carbon electrode is functionalized as a glucose biosensor with the enzyme glucose oxidase and encapsulated with a silicone rubber to ensure biocompatibility of the contact wires. The carbon electrode is fabricated by means of thick-film technology including a curing step to solidify the carbon paste. The influence of the curing temperature and curing time on the electrode morphology is analyzed via scanning electron microscopy. The electrochemical characterization of the glucose biosensor is performed by amperometric/voltammetric measurements of different glucose concentrations in phosphate buffer. Herein, systematic studies at applied potentials from 500 to 1200 mV to the carbon working electrode (vs the Ag/AgCl reference electrode) allow to determine the optimal working potential. Additionally, the influence of the curing parameters on the glucose sensitivity is examined over a time period of up to 361 days. The sensor shows a negligible cross-sensitivity toward ascorbic acid, noradrenaline, and adrenaline. The developed biocompatible biosensor is highly promising for future in vivo and epidermal applications. KW - biocompatible materials KW - biodegradable electronic devices KW - biosensors KW - carbon electrodes KW - glucose Y1 - 2022 U6 - http://dx.doi.org/10.1002/pssa.202200100 SN - 1862-6319 N1 - Corresponding author: Michael J. Schöning VL - 219 IS - 23 SP - 1 EP - 9 PB - Wiley-VCH CY - Weinheim ER - TY - THES A1 - Trinidad Avila, Maria Alejandra T1 - Work Habitat : Modular-skalierbare Office Markenstrategie für rasant wachsende Startups N2 - „Work Habitat“ ist eine markenorientierte Officelösung, die auf skalierbare Weise mit einem Start-up mitwächst und in Kooperation mit dem Unternehmen academa GmbH entstanden ist. Diese Brand Experience fördert Teambuilding und Identifikation mit dem Unternehmen. Sie passt sich an die Teammitglieder an, indem sie einen ganzheitlichen Blick auf das Office-System bewahrt. Ferner stellt sie eine nahtlose Verbindung digitaler und analoger Arbeitswelten dar und bietet eine einladende Umgebung verschiedener Arten zu Arbeiten an: von Deep-Focus bis zur kooperativen Zusammenarbeit und der Anregung zwangloser Begegnungen. Die modularen Komponenten können trotz Veränderungen, Umzügen oder unerwartet rasanten Entwicklungen nachhaltig und flexibel eingesetzt werden. Eine schnelllebige Welt erfordert eine angebrachte, sich ihr anpassende New-Work-Umgebung. KW - office design KW - spatial design KW - interior design KW - New York KW - Markenstrategie Y1 - 2022 N1 - Für diese Arbeit steht kein Volltext zur Verfügung. PB - FH Aachen CY - Aachen ER - TY - THES A1 - Voth, Emily T1 - KiWA : Die Garderobe für kleine Selbstständige N2 - Kindertagesstätten bieten Kleinkindern den Zugang zu unbeschwertem und spielerischem Lernen. Was also, wenn schon der Eingangsbereich die Reizüberflutung bereit hält, der Stauraum der Entfaltung der Kinder nicht gerecht wird und ihre Eigenständigkeit ungefördert bleibt? Es kommt zu unzufriedenen Kindern und Frustration aller Beteilligten. "KIWA" ist das Garderobensystem für Kinder zur Stärkung der heranwachsenden Selbstständigkeit. Mithilfe von persönlichen Wiedererkennungsmerkmalen wird Eigenverantwortung geschult. Leicht und sicher zu erreichender Stauraum sorgt für Ordnung. Spielerisches lernen trotz Ordnung. KW - Kindermöbel KW - Kindergarten KW - Möbeldesign KW - Ordnung KW - Kleinkinder Y1 - 2022 N1 - Für diese Arbeit steht kein Volltext zur Verfügung. PB - FH Aachen CY - Aachen ER - TY - CHAP A1 - Amir, Malik A1 - Bauckhage, Christian A1 - Chircu, Alina A1 - Czarnecki, Christian A1 - Knopf, Christian A1 - Piatkowski, Nico A1 - Sultanow, Eldar T1 - What can we expect from quantum (digital) twins? N2 - Digital twins enable the modeling and simulation of real-world entities (objects, processes or systems), resulting in improvements in the associated value chains. The emerging field of quantum computing holds tremendous promise for evolving this virtualization towards Quantum (Digital) Twins (QDT) and ultimately Quantum Twins (QT). The quantum (digital) twin concept is not a contradiction in terms - but instead describes a hybrid approach that can be implemented using the technologies available today by combining classical computing and digital twin concepts with quantum processing. This paper presents the status quo of research and practice on quantum (digital) twins. It also discuses their potential to create competitive advantage through real-time simulation of highly complex, interconnected entities that helps companies better address changes in their environment and differentiate their products and services. KW - Artificial Intelligence KW - Digital Twin Evolution KW - Machine Learning KW - Quantum Computing KW - Quantum Machine Learning Y1 - 2022 N1 - 17. Internationale Tagung Wirtschaftsinformatik, 21. – 23. Februar 2022, Nürnberg (online) SP - 1 EP - 14 PB - AIS Electronic Library (AISeL) ER - TY - JOUR A1 - Lindner, Simon A1 - Burger, René A1 - Rutledge, Douglas N. A1 - Do, Xuan Tung A1 - Rumpf, Jessica A1 - Diehl, Bernd W. K. A1 - Schulze, Margit A1 - Monakhova, Yulia T1 - Is the calibration transfer of multivariate calibration models between high- and low-field NMR instruments possible? A case study of lignin molecular weight JF - Analytical chemistry N2 - Although several successful applications of benchtop nuclear magnetic resonance (NMR) spectroscopy in quantitative mixture analysis exist, the possibility of calibration transfer remains mostly unexplored, especially between high- and low-field NMR. This study investigates for the first time the calibration transfer of partial least squares regressions [weight average molecular weight (Mw) of lignin] between high-field (600 MHz) NMR and benchtop NMR devices (43 and 60 MHz). For the transfer, piecewise direct standardization, calibration transfer based on canonical correlation analysis, and transfer via the extreme learning machine auto-encoder method are employed. Despite the immense resolution difference between high-field and low-field NMR instruments, the results demonstrate that the calibration transfer from high- to low-field is feasible in the case of a physical property, namely, the molecular weight, achieving validation errors close to the original calibration (down to only 1.2 times higher root mean square errors). These results introduce new perspectives for applications of benchtop NMR, in which existing calibrations from expensive high-field instruments can be transferred to cheaper benchtop instruments to economize. Y1 - 2022 SN - 1520-6882 U6 - http://dx.doi.org/10.1021/acs.analchem.1c05125 VL - 94 IS - 9 SP - 3997 EP - 4004 PB - ACS Publications CY - Washington, DC ER - TY - JOUR A1 - Monakhova, Yulia A1 - Diehl, Bernd W.K. T1 - Multinuclear NMR screening of pharmaceuticals using standardization by 2H integral of a deuterated solvent JF - Journal of Pharmaceutical and Biomedical Analysis N2 - NMR standardization approach that uses the 2H integral of deuterated solvent for quantitative multinuclear analysis of pharmaceuticals is described. As a proof of principle, the existing NMR procedure for the analysis of heparin products according to US Pharmacopeia monograph is extended to the determination of Na+ and Cl- content in this matrix. Quantification is performed based on the ratio of a 23Na (35Cl) NMR integral and 2H NMR signal of deuterated solvent, D2O, acquired using the specific spectrometer hardware. As an alternative, the possibility of 133Cs standardization using the addition of Cs2CO3 stock solution is shown. Validation characteristics (linearity, repeatability, sensitivity) are evaluated. A holistic NMR profiling of heparin products can now also be used for the quantitative determination of inorganic compounds in a single analytical run using a single sample. In general, the new standardization methodology provides an appealing alternative for the NMR screening of inorganic and organic components in pharmaceutical products. KW - NMR spectroscopy KW - Inorganic ions KW - Heparin KW - Standardization Y1 - 2022 SN - 0731-7085 U6 - http://dx.doi.org/10.1016/j.jpba.2021.114530 VL - 209 IS - Article number: 114530 PB - Elsevier ER - TY - JOUR A1 - Burger, René A1 - Lindner, Simon A1 - Rumpf, Jessica A1 - Do, Xuan Tung A1 - Diehl, Bernd W.K. A1 - Rehahn, Matthias A1 - Monakhova, Yulia A1 - Schulze, Margit T1 - Benchtop versus high field NMR: Comparable performance found for the molecular weight determination of lignin JF - Journal of Pharmaceutical and Biomedical Analysis N2 - Lignin is a promising renewable biopolymer being investigated worldwide as an environmentally benign substitute of fossil-based aromatic compounds, e.g. for the use as an excipient with antioxidant and antimicrobial properties in drug delivery or even as active compound. For its successful implementation into process streams, a quick, easy, and reliable method is needed for its molecular weight determination. Here we present a method using 1H spectra of benchtop as well as conventional NMR systems in combination with multivariate data analysis, to determine lignin’s molecular weight (Mw and Mn) and polydispersity index (PDI). A set of 36 organosolv lignin samples (from Miscanthus x giganteus, Paulownia tomentosa and Silphium perfoliatum) was used for the calibration and cross validation, and 17 samples were used as external validation set. Validation errors between 5.6% and 12.9% were achieved for all parameters on all NMR devices (43, 60, 500 and 600 MHz). Surprisingly, no significant difference in the performance of the benchtop and high-field devices was found. This facilitates the application of this method for determining lignin’s molecular weight in an industrial environment because of the low maintenance expenditure, small footprint, ruggedness, and low cost of permanent magnet benchtop NMR systems. KW - NMR KW - PLS-regression KW - Molecular weight determination KW - Chemometrics KW - Biomass Y1 - 2022 SN - 0731-7085 U6 - http://dx.doi.org/10.1016/j.jpba.2022.114649 VL - 212 IS - Article number: 114649 PB - Elsevier CY - New York, NY ER - TY - JOUR A1 - Monakhova, Yulia A1 - Soboleva, Polina M. A1 - Fedotova, Elena S. A1 - Musina, Kristina T. A1 - Burmistrova, Natalia A. T1 - Quantum chemical calculations of IR spectra of heparin disaccharide subunits JF - Computational and Theoretical Chemistry N2 - Heparin is a natural polysaccharide, which plays essential role in many biological processes. Alterations in building blocks can modify biological roles of commercial heparin products, due to significant changes in the conformation of the polymer chain. The variability structure of heparin leads to difficulty in quality control using different analytical methods, including infrared (IR) spectroscopy. In this paper molecular modelling of heparin disaccharide subunits was performed using quantum chemistry. The structural and spectral parameters of these disaccharides have been calculated using RHF/6-311G. In addition, over-sulphated chondroitin sulphate disaccharide was studied as one of the most widespread contaminants of heparin. Calculated IR spectra were analyzed with respect to specific structure parameters. IR spectroscopic fingerprint was found to be sensitive to substitution pattern of disaccharide subunits. Vibrational assignments of calculated spectra were correlated with experimental IR spectral bands of native heparin. Chemometrics was used to perform multivariate analysis of simulated spectral data. KW - IR spectroscopy KW - Chemometrics KW - Quantum chemistry KW - Molecular modelling KW - Quality control Y1 - 2022 SN - 2210-271X U6 - http://dx.doi.org/10.1016/j.comptc.2022.113891 VL - 1217 IS - Article number: 113891 PB - Elsevier CY - New York, NY ER - TY - JOUR A1 - Hahn, Geogr W. A1 - Hebel, Christoph A1 - Manz, W. T1 - Die neuen Empfehlungen für Verkehrsnachfragemodellierung im Personenverkehr JF - Straßenverkehrstechnik N2 - Die neu erschienenen „Empfehlungen zum Einsatz von Verkehrsnachfragemodellen für den Personenverkehr“ liefern erstmals als Empfehlungspapier der Forschungsgesellschaft für Straßen- und Verkehrswesen einen umfassenden Überblick zu den verschiedenen Aspekten der Modellierung und geben dem Fachplaner konkrete Hilfestellung für die Konzeption von Nachfragemodellen. Das Empfehlungspapier zielt unter anderem darauf ab, die Erwartungen und das Anspruchsniveau in Hinblick auf Sachgerechtigkeit der Modelle, die erzielbare Modellqualität und den Detaillierungsgrad der Modellaussagen zu harmonisieren. Y1 - 2022 U6 - http://dx.doi.org/10.53184/SVT10-2022-1 SN - 0039-2219 VL - 66 IS - 10 SP - 721 EP - 726 PB - Kirschbaum Verlag GmbH CY - Bonn ER - TY - JOUR A1 - Emig, J. A1 - Hebel, Christoph A1 - Schwark, A. T1 - Einsatzbereiche für Verkehrsnachfragemodelle JF - Straßenverkehrstechnik N2 - In der Praxis bestehen vielfältige Einsatzbereiche für Verkehrsnachfragemodelle. Mit ihnen können Kenngrößen des Verkehrsangebots und der Verkehrsnachfrage für den heutigen Zustand wie auch für zukünftige Zustände bereitgestellt werden, um so die Grundlagen für verkehrsplanerische Entscheidungen zu liefern. Die neuen „Empfehlungen zum Einsatz von Verkehrsnachfragemodellen für den Personenverkehr“ (EVNM-PV) (FGSV 2022) veranschaulichen anhand von typischen Planungsaufgaben, welche differenzierten Anforderungen daraus für die Modellkonzeption und -erstellung resultieren. Vor dem Hintergrund der konkreten Aufgabenstellung sowie deren spezifischer planerischer Anforderungen bildet die abzuleitende Modellspezifikation die verabredete Grundlage zwischen Auftraggeber und Modellersteller für die konkrete inhaltliche, fachliche Ausgestaltung des Verkehrsmodells. Y1 - 2022 U6 - http://dx.doi.org/10.53184/SVT10-2022-2 SN - 0039-2219 VL - 66 IS - 10 SP - 727 EP - 736 PB - Kirschbaum Verlag GmbH CY - Bonn ER - TY - JOUR A1 - Kindmann, Rolf A1 - Kraus, Matthias A1 - Laumann, Jörg A1 - Vette, Jan T1 - Verallgemeinerte Berechnungsmethode für in Beton eingespannte Stahlprofile – Einspanntiefen, Tragfähigkeitsnachweise und Bemessungshilfen JF - Stahlbau N2 - Stützen und Träger aus Stahlprofilen können in Fundamente oder Wände aus Stahlbeton einbetoniert werden. Diese Anschlüsse wirken in der Regel wie Einspannungen, die eine ausreichende Einspanntiefe erfordern. Im Folgenden wird eine verallgemeinerte Berechnungsmethode für in Stahlbetonkonstruktionen eingespannte Stahlprofile aus gewalzten I-Profilen, geschweißten I-Profilen, runden Hohlprofilen, eckigen Hohlprofilen und einzelligen Kastenquerschnitten vorgestellt. Für Beanspruchungen infolge einachsiger Biegung um die starke und schwache Profilachse werden der profilabhängige Ansatz der Betondruckspannungen im Einspannbereich und die Ermittlung der Einspanntiefe behandelt. Unter Berücksichtigung der Normalkraft werden an den maßgebenden Stellen Tragfähigkeitsnachweise für die Stahlprofile geführt. Als Ergänzung zu den Berechnungsformeln werden Bemessungshilfen zur Verfügung gestellt, die die Wahl der mitwirkenden Breiten und der Einspanntiefen erleichtert. KW - Stahlprofile KW - Anschlüsse an Stahlbeton KW - Einspanntiefen KW - Eingespannte Stützen und Träger KW - steel profiles Y1 - 2022 U6 - http://dx.doi.org/10.1002/stab.202200024 SN - 1437-1049 VL - 93 IS - Early View SP - 1 EP - 25 PB - Ernst & Sohn GmbH CY - Berlin ER - TY - BOOK A1 - Laumann, Jörg A1 - Feldmann, Markus A1 - Frickel, Jörg A1 - Krahwinkel, Manuel A1 - Kraus, Matthias A1 - Stranghöner, Natalie A1 - Ummenhofer, Thomas T1 - Petersen Stahlbau : Grundlagen der Berechnung und baulichen Ausbildung von Stahlbauten N2 - Die Theorie und Konstruktion der wichtigsten Bereiche der Stahlbautechnik werden von den Grundlagen her entwickelt und durch viele Beispiele praxisbezogen erläutert. Das Buch ist aus Vorlesungen im Grund- und Vertiefungsstudium des Bauingenieurwesens entstanden. Der Inhalt wird zum Teil systematisch, zum Teil exemplarisch dargestellt. Für Konstrukteure und Statiker in den technischen Büros, der Beratenden Ingenieure und der Prüfämter enthält das Buch aufbereitete Berechnungsverfahren und Konstruktionsvorschläge in großer Zahl. KW - Behälterbau KW - Bemessung KW - Brandschutz KW - Brückenbau KW - Festigkeitslehre Y1 - 2022 SN - 978-3-658-20510-2 U6 - http://dx.doi.org/10.1007/978-3-658-20510-2 PB - Springer Vieweg CY - Wiesbaden ET - 5. Auflage ER - TY - CHAP A1 - Fissabre, Anke ED - Dux, Holger A. T1 - Die Bauten des jüdischen Friedhofs an der Lütticher Straße T2 - Der Jüdische Friedhof Aachen Y1 - 2022 SN - 978-3-87519-266-7 SP - 51 EP - 69 PB - Mayersche Buchhandlung Aachen GmbH CY - Aachen ER - TY - CHAP A1 - Fissabre, Anke ED - Dux, Holger A. T1 - Ein Entwurf für die Umnutzung der Bauten des jüdischen Friedhofs an der Lütticher Straße T2 - Der jüdische Friedhof Aachen Lütticher Straße Aachen Y1 - 2022 SN - 978-3-87519-266-7 SP - 71 EP - 74 PB - Mayersche Buchhandlung Aachen GmbH CY - Aachen ER - TY - JOUR T1 - Dimensionen 1-2022: Magazin der FH Aachen University of Applied Sciences - Auf dem Weg zur Nachhaltigkeit N2 - Inhaltsverzeichnis: 06| "WIR" werden nachhaltig 10| Der Kraft-Stoff aus dem Bioreaktor 14| Energieverbrauch des Campus Jülich optimieren 16| „Eine große Hilfestellung für Flutopfer“ 20| Von der ersten Skizze zu den Blumen in der Vase 22|Wie schläft es sich im All, Herr Maurer? 24| Expedition Arktis 28| Eine Frage, zwei Antworten 30| Der schönste Arbeitsplatz der Welt 32| Im Einklang 36| Ein Vorgeschmack auf die echte Arbeitswelt 38| Den Rätseln des Universums auf der Spur 40| Auf Umwegen in die Spitzenforschung 42| Klappe FH Aachen, die erste … Kamera läuft! 44| Auszeit 46| „Fotografie öffnet Türen zu Parallelwelten“ 50| Es gibt viel zu tun 52| Durch-Blick 54| Weichen stellen für einen ganz besonderen Job 58| Souta, Iver und der Wind 60| Die FH Aachen ist systemakkreditiert 61| Der Vulkan 62| Kopfnuss, Impressum T3 - Dimensionen - Magazin der FH Aachen University of Applied Sciences - 2022, 1 Y1 - 2022 CY - Aachen ER - TY - THES A1 - Heining, Theresa Marie T1 - Das Museum Küppersmühle : Entwicklung eines neuen Erscheinungsbildes und Orientierungssystems für das Museum N2 - Der Raum des Museums ist kein funktionaler Ort. Er dient den Besucher:innen als Inspiration, gefüllt mit Kunst, Poesie und Konzept. Das Museum Küppersmühle ist dabei eine klassische White Cube Gallery mit weitläufigen Räumen, viel Platz für die Kunst und einer hochwertigen Sammlung. Es befindet sich in einem umgebauten, alten Speichergebäude im Duisburger Innenhafen. Im Zuge der Masterarbeit wurden ein Erscheinungsbild und Orientierungssystem für das Museums entwickelt. Das Gestaltungssystem ist ein Spiel von Verbindungen, die mal gradlinig, teilweise geschwungen und manchmal verdreht sind. Der geschwungene Pfeil wird hierbei zum Visual des Umwegs, des Gedankensprungs und des Entdeckens. Es ist ein Informationskonzept entstanden, das dazu einlädt, über die geführten Wege hinauszublicken. Es leitet digital und mittels verschiedener Printmedien durch die Ausstellung für moderne Kunst. KW - Erscheinungsbild KW - Orientierungssystem KW - Museum KW - Leitsystem KW - Architektur Y1 - 2022 PB - FH Aachen CY - Aachen ER - TY - CHAP A1 - Akimbekov, Nuraly S. A1 - Digel, Ilya A1 - Razzaque, Mohammed S. T1 - Role of vitamins in maintaining structure and function of intestinal microbiome T2 - Comprehensive Gut Microbiota N2 - The recent advances in microbiology have shed light on understanding the role of vitamins beyond the nutritional range. Vitamins are critical in contributing to healthy biodiversity and maintaining the proper function of gut microbiota. The sharing of vitamins among bacterial populations promotes stability in community composition and diversity; however, this balance becomes disturbed in various pathologies. Here, we overview and analyze the ability of different vitamins to selectively and specifically induce changes in the intestinal microbial community. Some schemes and regularities become visible, which may provide new insights and avenues for therapeutic management and functional optimization of the gut microbiota. KW - Vitamin A KW - Vitamin B KW - Thiamine KW - Riboflavin KW - Niacin Y1 - 2022 SN - 978-0-12-822036-8 U6 - http://dx.doi.org/10.1016/B978-0-12-819265-8.00043-7 SP - 320 EP - 334 PB - Elsevier CY - Amsterdam ER - TY - CHAP A1 - Akimbekov, Nuraly S. A1 - Digel, Ilya A1 - Sherelkhan, Dinara K. A1 - Razzaque, Mohammed S. T1 - Vitamin D and Phosphate Interactions in Health and Disease T2 - Phosphate Metabolism N2 - Vitamin D plays an essential role in calcium and inorganic phosphate (Pi) homeostasis, maintaining their optimal levels to assure adequate bone mineralization. Vitamin D, as calcitriol (1,25(OH)2D), not only increases intestinal calcium and phosphate absorption but also facilitates their renal reabsorption, leading to elevated serum calcium and phosphate levels. The interaction of 1,25(OH)2D with its receptor (VDR) increases the efficiency of intestinal absorption of calcium to 30–40% and phosphate to nearly 80%. Serum phosphate levels can also influence 1,25 (OH)2D and fibroblast growth factor 23 (FGF23) levels, i.e., higher phosphate concentrations suppress vitamin D activation and stimulate parathyroid hormone (PTH) release, while a high FGF23 serum level leads to reduced vitamin D synthesis. In the vitamin D-deficient state, the intestinal calcium absorption decreases and the secretion of PTH increases, which in turn causes the stimulation of 1,25(OH)2D production, resulting in excessive urinary phosphate loss. Maintenance of phosphate homeostasis is essential as hyperphosphatemia is a risk factor of cardiovascular calcification, chronic kidney diseases (CKD), and premature aging, while hypophosphatemia is usually associated with rickets and osteomalacia. This chapter elaborates on the possible interactions between vitamin D and phosphate in health and disease. KW - Vitamin D KW - PTH KW - Phosphate KW - FGF23 KW - Klotho Y1 - 2022 SN - 978-3-030-91621-3 U6 - http://dx.doi.org/10.1007/978-3-030-91623-7_5 SP - 37 EP - 46 PB - Springer CY - Cham ER - TY - JOUR A1 - Molinnus, Denise A1 - Iken, Heiko A1 - Johnen, Anna Lynn A1 - Richstein, Benjamin A1 - Hellmich, Lena A1 - Poghossian, Arshak A1 - Knoch, Joachim A1 - Schöning, Michael Josef T1 - Miniaturized pH-Sensitive Field-Effect Capacitors with Ultrathin Ta₂O₅ Films Prepared by Atomic Layer Deposition JF - physica status solidi (a) applications and materials science N2 - Miniaturized electrolyte–insulator–semiconductor capacitors (EISCAPs) with ultrathin gate insulators have been studied in terms of their pH-sensitive sensor characteristics: three different EISCAP systems consisting of Al–p-Si–Ta2O5(5 nm), Al–p-Si–Si3N4(1 or 2 nm)–Ta2O5 (5 nm), and Al–p-Si–SiO2(3.6 nm)–Ta2O5(5 nm) layer structures are characterized in buffer solution with different pH values by means of capacitance–voltage and constant capacitance method. The SiO2 and Si3N4 gate insulators are deposited by rapid thermal oxidation and rapid thermal nitridation, respectively, whereas the Ta2O5 film is prepared by atomic layer deposition. All EISCAP systems have a clear pH response, favoring the stacked gate insulators SiO2–Ta2O5 when considering the overall sensor characteristics, while the Si3N4(1 nm)–Ta2O5 stack delivers the largest accumulation capacitance (due to the lower equivalent oxide thickness) and a higher steepness in the slope of the capacitance–voltage curve among the studied stacked gate insulator systems. KW - atomic layer deposition KW - capacitive field-effect sensors KW - pH sensors KW - ultrathin gate insulators Y1 - 2022 U6 - http://dx.doi.org/10.1002/pssa.202100660 SN - 1862-6319 VL - 219 IS - 8 PB - Wiley-VCH CY - Weinheim ER -