Optimization of passivation layers for corrosion protection of silicon-based microelectrode arrays
Verfasserangaben: | F. Faßbender, G. Schmitt, Michael Josef SchöningORCiD, H. Lüth, G. Buß, J. W. Schultze |
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ISBN: | 0925-4005 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 68 (2000), H. 1-3 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2000 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 128 |
Letzte Seite: | 133 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0925-4005(00)00472-X |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |