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Automatisiertes „wafer level“-Testsystem zur Charakterisierung von siliziumbasierten Chemo- und Biosensoren

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Metadaten
Author:Arshak PoghossianORCiD, H. Wagner, Michael Josef SchöningORCiD
ISBN:978-3-8007-3260-9
Parent Title (German):Sensoren und Messsysteme 2010 [Elektronische Ressource] : Vorträge der 15. ITG/GMA-Fachtagung vom 18. bis 19. Mai 2010 in Nürnberg / Informationstechnische Gesellschaft im VDE (ITG); VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik (GMA)
Publisher:VDE Verlag
Place of publication:Berlin
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:2010
Date of the Publication (Server):2012/12/18
Length:1 CD-ROM
First Page:89
Last Page:92
Note:
Fachtagung Sensoren und Messsysteme 15, 2010, Nürnberg ; Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien