High resolution LAPS using amorphous silicon as the semiconductor material
Verfasserangaben: | W. Moritz, T. Yoshinobu, F. Finger, S. Krause, M. Martin-Fernandez, Michael Josef SchöningORCiD |
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ISBN: | 0925-4005 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 103 (2004), H. 1-2 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2004 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 436 |
Letzte Seite: | 444 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1016/j.snb.2004.04.073 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |