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Neue Medien für die praktische MST-Ausbildung

  • Im Studiengang Mikrosystemtechnik des Fachhochschulstandortes Zweibrücken werden zwei neue moderne Anlagen für die Herstellung von mikrotechnischen Komponenten in Betrieb genommen: Ein Oxidationsofen für Herstellung dünner Oxidschichten auf Silizium-Einkristallen und eine Belichtungsapparatur für die Fotolithografie - das Besondere an diesen Anlagen: Sie existieren nur virtuell, d.h. als Animationen in einer Computerwelt.

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Metadaten
Author:Antoni Picard, Manfred Brill, Detlev Cassel, Andreas Jentsch, Markus Rollwa, Klaus-Peter Kämper, Sabine Merten
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:2002
Publishing Institution:Fachhochschule Aachen
Creating Corporation:FH-Kaiserslautern
Date of the Publication (Server):2005/12/12
Tag:Mikrotechnik; Oxidationsofen; Oxidschicht; mikrotechnische Komponenten; multimediale Lernsoftware
micro technology; micro-technical components; oxidation furnace; oxide coating
GND Keyword:Mikrosystemtechnik; Photolithographie
Source:Rundschau, FH-Kaiserlautern, Ausgabe Juli 2002, Seite 14 - 15
Institutes:FH Aachen / FH Aachen
Dewey Decimal Classification:6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 62 Ingenieurwissenschaften / 620 Ingenieurwissenschaften und zugeordnete Tätigkeiten