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LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.

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Metadaten
Author:Klaus-Peter Kämper, W. Ehrfeld, H. Lehr, F. Michel
ISBN:0931-2714
Parent Title (German):Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:1993
Date of the Publication (Server):2012/12/18
First Page:LXIX
Last Page:LXXI
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik