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Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.

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Metadaten
Author:Klaus-Peter Kämper
Parent Title (German):41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:1996
Date of the Publication (Server):2012/12/18
First Page:121
Last Page:126
Note:
Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik