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Simulationswerkzeug bei der Herstellung von mikroelektronischen Komponenten. Schnelles Beurteilen von Alternativen in der Produktionsplanung und im Fertigungsdesign

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Metadaten
Author:Günther Starke, Y. Zack, A.-P. Friedrich, E. Drichel
ISBN:1431-2271
Parent Title (German):FB/IE - Zeitschrift für Unternehmensentwicklung und Industrial Engineering. 52 (2003), H. 5
Document Type:Article
Language:German
Year of Completion:2003
Date of the Publication (Server):2012/12/18
First Page:204
Last Page:212
Institutes:FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik