Doping of germanium by ion implantation
Author: | Mattea Müller-Veggian, A. Hamacher, D. Protic, G. Riepe |
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Parent Title (English): | Annual report 1992 / Forschungszentrum Jülich Institut für Kernphysik / Baur, G. (Hrsg.). - (Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 2726) |
Publisher: | Verlag des Forschungszentrums Jülich |
Place of publication: | Jülich |
Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of Completion: | 1993 |
Length: | 350 S. |
First Page: | 274 |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |