Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.
| Author: | Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, W. Schnittker, J. Warnier |
|---|---|
| Parent Title (German): | Philips - Unsere Forschung in Deutschland / Hrsg.: Philips Forschungslaboratorium GmbH Aachen und Hamburg. 4 (1989) |
| Document Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1989 |
| Date of the Publication (Server): | 2012/12/18 |
| First Page: | 140 |
| Last Page: | 143 |
| Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
