LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, W. Ehrfeld, H. Lehr, F. Michel |
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ISBN: | 0931-2714 |
Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Deutsch |
Erscheinungsjahr: | 1993 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | LXIX |
Letzte Seite: | LXXI |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |