Micro- and nanopatterning of sensor chips by means of macroporous silicon.
Verfasserangaben: | A. Kurowski, J. Schultze, H. Lüth, Michael Josef SchöningORCiD |
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ISBN: | 0925-4005 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Sensors and Actuators B. 83 (2002), H. 1-3 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2002 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 123 |
Letzte Seite: | 128 |
Bemerkung: | Selected Papers from TRANSDUCERS '01 EUROSENSORS XV |
Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0925-4005(01)01054-1 |
Zugriffsart: | campus |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |