Reduction of geometric taper losses in the PCVD process. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.
Verfasserangaben: | Hans-Jürgen Hagemann, P. Geittner, J. Warnier, F. Weling |
---|---|
ISBN: | 0013-5194 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Electronics letters : an intern. publication / The Institution of Electrical Engineers. 21 (1985), H. 13 |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 1985 |
Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
Erste Seite: | 870 |
Letzte Seite: | 871 |
Link: | http://dx.doi.org/10.1049/el:19850614 |
Zugriffsart: | bezahl |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |