Mikromontage zur Fertigung hybrider Mikrosysteme. Nienhaus, M.; Berg, U.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
MetadatenVerfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper |
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Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | 41. Internationales Wissenschaftliches Kolloquium, Wandel im Maschinenbau durch Feinwerktechik und Mikrosystemtechnik, Bd. 1, Ilmenau, DE, 23.-26. Sep, 1996 |
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Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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Sprache: | Deutsch |
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Erscheinungsjahr: | 1996 |
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Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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Erste Seite: | 121 |
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Letzte Seite: | 126 |
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Bemerkung: | Internationales Wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau, 41 |
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Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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