Compensation of the Parasitic Capacitance of a Scanning Force Microscope Cantilever Used for Measurements on Ferroelectric Capacitors of Submicron Size by Means of Finite Element Simulations / Prume, Klaus ; Roelofs, Andreas ; Schmitz, Thorsten ; Reichenb
| Verfasserangaben: | Klaus Prume, Andreas Roelofs, Thorsten Schmitz, Bernd Reichenberg |
|---|---|
| ISBN: | 0021-4922 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Japanese Journal of Applied Physics. 41 (2002), H. 11B |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2002 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 7198 |
| Letzte Seite: | 7201 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.41.7198 |
| Zugriffsart: | bezahl |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |
