Amorphous silicon as semiconductor material for high resolution LAPS
Verfasserangaben: | Werner Moritz, Tatsuo Yoshinobu, Friedhelm Finger, Steffi Krause, Michael Josef SchöningORCiD |
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Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Eurosensors XVII : the 17th European Conference on Solid-State Transducers ; University of Minho, Guimarães, Portugal, September 21 - 24, 2003 |
Dokumentart: | Konferenzveröffentlichung |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2003 |
Datum der Publikation (Server): | 15.01.2015 |
Erste Seite: | 48 |
Letzte Seite: | 49 |
Link: | http://repositorium.sdum.uminho.pt/bitstream/1822/4837/1/BookOfAbstractsFinal.pdf |
Zugriffsart: | weltweit |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |