Preparation of patterned GaAs structures for MEMS and MOEMS. Cambel, V.; Kicin, S.; Kuliffayová, M.; Kovácová, E.; Novák, J.; Kostic, I.; Förster, A.
| Verfasserangaben: | Arnold Förster, V. Cambel, S. Kicin, M. Kuliffayová |
|---|---|
| ISBN: | 0928-4931 |
| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Materials Science and Engineering: C. 19 (2002), H. 2 |
| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
| Sprache: | Englisch |
| Erscheinungsjahr: | 2002 |
| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
| Erste Seite: | 161 |
| Letzte Seite: | 165 |
| Link: | http://dx.doi.org/10.1016/S0928-4931(01)00476-3 |
| Zugriffsart: | bezahl |
| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Energietechnik |
