Kapazitives Sensorarray in Siliziumtechnik für die Prozeßüberwachung
| Author: | Michael Josef SchöningORCiD, M. Thust, A. Steffen, Mattea Müller-Veggian |
|---|---|
| ISBN: | 0341-0196 |
| Parent Title (German): | ITG-Fachbericht. 148 (1998) |
| Document Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of Completion: | 1998 |
| Date of the Publication (Server): | 2012/12/18 |
| First Page: | 257 |
| Last Page: | 263 |
| Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
