LIGA-Technik zur Fertigung von Mikroaktoren. Ehrfeld. W.; Kämper, K.-P.; Lehr, H.; Michel, F.
Author: | Klaus-Peter Kämper, W. Ehrfeld, H. Lehr, F. Michel |
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ISBN: | 0931-2714 |
Parent Title (German): | Mikroelektronik . 7 (1993), H. 5 |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of Completion: | 1993 |
First Page: | LXIX |
Last Page: | LXXI |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |