Implication of the light polarisation for UV curing of pre-patterned resists
Verfasserangaben: | M. Wissen, N. Bogdanski, H.-C. Scheer, Andreas Bitz, G. Ahrens, G. Gruetzner |
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DOI: | https://doi.org/10.1016/j.mee.2004.12.099 |
ISSN: | 0167-9317 |
Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Microelectronic Engineering |
Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
Sprache: | Englisch |
Erscheinungsjahr: | 2005 |
Datum der Publikation (Server): | 10.04.2017 |
Jahrgang: | 78-79 |
Erste Seite: | 659 |
Letzte Seite: | 664 |
Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Elektrotechnik und Informationstechnik |