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Erscheinungsjahr
- 2003 (1)
Institut
- Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik (1) (entfernen)
Volltext vorhanden
- ja (1)
Sprache
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Dokumenttyp
Schlagworte
- Mikrosystemtechnik (1) (entfernen)
Gehört zur Bibliographie
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The Virtual Clean Room - a new tool in teaching MST process technologies University education in high-technology fields like MST is not complete without intensive laboratory sessions. Students cannot fully grasp the complexity and the special problems related to the manufacturing of microsystems without a thorough hands-on experience in a MST clean room.