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Funktionsprüfung und Charakterisierung von ionensensitiven Feldeffekttransistoren (ISFETs) auf Waferebene mittels Mikrotropfenzelle für den zukünftigen Einsatz in der Sensorproduktion
(2006)
Joachim P. Kloock
;
Arshak Poghossian
;
K. Schumacher
;
C. Rosenkranz
;
J. W. Schultze
;
Mattea Müller-Veggian
;
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