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Abscheidegeschwindigkeiten und Prozeßausbeuten im PCVD-Verfahren. Geittner, P.; Hagemann, H. J.; Schnittker, W.; Warnier, J.; Weling, F.; Wilson, H.
(1989)
Hans-Jürgen Hagemann
;
P. Geittner
;
W. Schnittker
;
J. Warnier
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