Fertigung von Mikroaktoren mittels LIGA-Technik. Lehr, H.; Abel, S.; Chritz, G.; Ehrfeld, W.; Kämper, K.-P.; Michel, F.
Metadaten| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Deutsch): | Proceedings Microengineering 94 : Messe Stuttgart 17. - 19. Mai 1994 / Messe Stuttgart International |
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| Verlagsort: | Stuttgart |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Deutsch |
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| Erscheinungsjahr: | 1994 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | getr. Zählung |
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| Bemerkung: | MicroEngineering ; (1, 1994, Stuttgart) |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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