Simulation supported design of LIGA Microsystems. Kämper, K.-P.; Döpper, J.; Ehrfeld, W.; Hagemann, B.; Hill, S.D.J.; Lehr, H.
Metadaten| Verfasserangaben: | Klaus-Peter Kämper, J. Döpper, W. Ehrfeld, B. Hagemann |
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| ISBN: | 1-85312-390-0 |
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| Titel des übergeordneten Werkes (Englisch): | Simulation and design of microsystems and microstructures : [... contains the papers presented at the First International Conference on the Simulation and Design of Microsystems and Microstructures, MicroSIM '95, which was held in Southampton, UK, in September 1995] / [organised by: Wessex Institute of Technology, UK]. Ed.: R. A. Adey |
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| Verlag: | Computational Mechanics Publ. |
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| Verlagsort: | Southampton [u.a.] |
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| Dokumentart: | Wissenschaftlicher Artikel |
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| Sprache: | Englisch |
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| Erscheinungsjahr: | 1995 |
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| Datum der Publikation (Server): | 18.12.2012 |
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| Umfang: | 337 S : Ill., graph. Darst. |
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| Erste Seite: | 3 |
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| Letzte Seite: | 10 |
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| Fachbereiche und Einrichtungen: | FH Aachen / Fachbereich Maschinenbau und Mechatronik |
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