Dünne Al2O3-Schichten für pH-Sensoren auf Halbleiterbasis mittels Laserablation
Author: | Michael Josef SchöningORCiD, A. Schaub, Leah Beckers, W. Zander |
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ISBN: | 3-18-091255-3 |
Parent Title (German): | Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik: Sensoren und Messysteme : Tagung Bad Nauheim, 11. bis 13. März 1996 / VDI/VDE-Gesellschaft Meß- und Automatisierungstechnik. |
Publisher: | VDI-Verl. |
Place of publication: | Düsseldorf |
Document Type: | Article |
Language: | German |
Year of Completion: | 1996 |
Length: | 624 S. : Ill., graph. Darst. |
First Page: | 381 |
Last Page: | 386 |
Note: | VDI-Berichte; 1255 |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |