Fabrication of thin-film LAPS with amorphous silicon
Author: | T. Yoshinobu, Michael Josef SchöningORCiD, F. Finger, W. Moritz, H. Iwasaki |
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ISBN: | 1424-8220 |
Parent Title (English): | Sensors. 4 (2004), H. 10 |
Document Type: | Article |
Language: | English |
Year of Completion: | 2004 |
First Page: | 163 |
Last Page: | 169 |
Link: | http://www.mdpi.org/sensors/papers/s41000163.pdf |
Zugriffsart: | weltweit |
Institutes: | FH Aachen / Fachbereich Medizintechnik und Technomathematik |
FH Aachen / INB - Institut für Nano- und Biotechnologien |